名称：特气柜（Gas Cabinet）
用途：特气柜主要用于供应特种气体，如易燃、易爆、剧毒等，以满足半导体和LED等新兴行业的需求。
供应商：西安西能光伏科技有限公司
特气柜（Gas Cabinet）优势特点介绍：
安全性：特气柜的设计和制造过程中注重安全因素，具有完善的安全报警装置，如气体泄漏检测报警（如SiH4、PH3、HCL等泄漏报警）报警信号被触发时，自动切断。此外，特气柜采用PLC控制，通过设备安装的压力传感器、气动阀、过流量计等装置，实现设备安全有效的运行。
高效性：特气柜采用自动吹扫和自动切换功能，可以快速准确地供应所需气体，确保生产过程的顺利进行。
纯度：特气柜内部采用高纯阀件的合理选择和布局，以满足半导体工艺生产过程中对气体的纯度要求。
可靠性：特气柜采用PLC程式设计的安全联锁功能，确保设备的稳定性和可靠性，降低故障率。
定制化：特气柜的箱体设计采用安全设计，所选用的材料适用于各种不同性质的气体，可根据客户需求进行定制。